半導体設備産業の生態系育成に投資してきた中国が日本企業の強みだった重要設備分野で存在感を示し始めた。伝統的に米日の企業が優位だった乾式エッチング、PVD（物理気相成長）など半導体品質と直結する重要設備分野で中国の主要設備メーカーがシェアを高めているのだ。

　露光設備とエッチング設備は、米国を代表する半導体設備メーカーであるアプライドマテリアルズ、ラムリサーチなどが独占的地位にあるが、一時米国と双璧を成していた日本の設備メーカーは低迷傾向が目立つ。中国製設備の品質が改善し、中国の半導体メーカーが輸入する日本製設備の量が減っており、半導体設備市場に占める日本の世界シェアも欧州に次ぐ3位に後退した。

　投資銀行モルガンスタンレーの資料によると、前工程設備市場で中国半導体設備メーカーのシェアが予想より高かった。以前では前工程分野で中国半導体設備メーカーのシェアは不明だったり、ほとんど捕捉されなかったが、昨年末現在で重要装備の一つである乾式エッチングで中国企業のシェアは12％を上回った。

　半導体の前工程はウエハーの上に回路を刻んでチップを完成させる工程、後工程は完成したチップをパッケージング（封止）してテスト（検査）し、最終製品にする過程を意味する。最近はアドバンスドパッケージング（複数の半導体チップを効率的に統合することで、性能向上や省電力化、小型化を実現する革新的技術）などの先端技術導入で後工程の重要性が高まっているが、前工程は極端紫外線（EUV）露光設備をはじめとする最先端設備や新技術が総動員されるため、150兆ウォンを超える規模の半導体設備市場の大半を占めている。

　モルガンスタンレーの資料によると、「中国のアプライドマテリアルズ」と呼ばれる大手メーカー、の北方華創（NAURA）、中微半導体設備（AMEC）が世界の乾式エッチング設備市場でそれぞれ6％のシェアを記録した。エッチングと並んで前工程で半導体の品質に影響を及ぼすPVD市場でも、NAURAが12％のシェアで善戦している。モルガンスタンレーは、日本メーカーのシェアが低下傾向を示している点を根拠に、中国製設備が日本企業のパイを侵食していると分析した。

　米日からの輸入依存度が高かった中国では、半導体設備の自給率も高まっている。朝鮮ビズが中国税関総署の資料を分析した結果、昨年の中国の半導体設備輸入は米国製が2020年に比べ58％減少、日本製は10.7％減少した。大韓貿易投資振興公社（KOTRA）関係者は「最近一部の中国企業が生産の安定性と品質水準を改善し、内需市場での競争が次第に激しくなっている。特に四川英傑電気（インジェット）、NAURAなどは設備メーカーなどへの納品を拡大し、主要部品分野での地位を高めている」と説明した。

　一方、前工程装備分野で日本の東京エレクトロン(TEL)、荏原製作所、ニコン、日立、KOKUSAI ELECTRIC（旧日立国際電気）など主要企業のシェアは低下傾向を示している。世界の半導体設備市場で日本企業のシェアは2012年に30％を割り込んで以降、低下が続き、昨年末時点で21.7％まで後退した。1990年代に米国と共に市場を独占した日本は、2020年代に入って欧州にも抜かれ、3位に転落した。

　一方、韓国の半導体設備メーカーは中国市場で米日製品の輸入が減ったところに食い込み、売上比率を増やしている。税関総署によると、韓国の半導体設備メーカーによる中国での売上高は2020年の8億9600万ドルから昨年は10億ドルを突破した。昨年の売上規模は前年比42.4％増加し、中国の半導体メーカーが韓国メーカーを選ぶ傾向が強まっていることを示している。

　KOTRAは最近の報告書で「中国の半導体メーカーが人工知能（AI）時代に合わせて高性能コンピューティングチップを生産するため、高精度、高信頼性の設備、部品を望んでおり、中国政府も同様に現地認証規格順守、客先事前評価手続きなどを通じ、信頼性の高い設備を選んでいる」とし、「中国市場で競争力を持つためには、製品の競争力だけでなく、現地認証体系への対応と戦略的パートナーシップ構築などでアプローチすべきだ」と指摘した。

ファン・ミンギュ記者