SKグループの素材子会社、SKマテリアルズは17日、超高純度（純度99.999％）のフッ化水素（HF）ガスの量産を開始したと発表した。超高純度フッ化水素は半導体生産時の必須素材だが、韓国企業が量産に入るのは初めてだ。超高純度フッ化水素はフォトレジスト、フッ化ポリイミドと共に昨年7月、日本が韓国への輸出を規制した3品目に含まれる。

　SKマテリアルズは昨年末、超高純度フッ化水素ガスの新製品開発に成功..

　SKグループの素材子会社、SKマテリアルズは17日、超高純度（純度99.999％）のフッ化水素（HF）ガスの量産を開始したと発表した。超高純度フッ化水素は半導体生産時の必須素材だが、韓国企業が量産に入るのは初めてだ。超高純度フッ化水素はフォトレジスト、フッ化ポリイミドと共に昨年7月、日本が韓国への輸出を規制した3品目に含まれる。

　SKマテリアルズは昨年末、超高純度フッ化水素ガスの新製品開発に成功し、慶尚北道栄州工場に15トン規模の生産設備を設置した。同社は今回の量産開始で2023年までに超高純度フッ化水素の国産化率を70％まで引き上げることが目標だ。同社は半導体回路を描く際に使う感光液であるフォトレジスト分野でも国産化作業を本格化している。最近にはフォトレジスト補助材のハードマスク（SOC）とフォトレジストの一種であるフッ化アルゴンフォトレジスト（ArF PR）の開発にも着手した。ArF PRの海外依存度は90％に達する。

　SKマテリアルズは2021年の生産施設を完成させ、22年から年5万ガロン規模でフォトレジストを生産することを目標に掲げている。

ソク・ナムジュン記者

朝鮮日報／朝鮮日報日本語版

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